Каково сырье для кремниевого стержня монокристаллической печи?
Оставить сообщение
Каково сырье для кремниевого стержня монокристаллической печи?
Сырьем является поликремний высокой чистоты. Поликремний плавится в монокристаллической печи Чохральского, и монокристаллический стержень вытягивается вместе с затравочным кристаллом.
Теперь новейшая технология также использует слитковую печь для производства монокристаллического кремния для получения монокристаллического кремния большого размера.
Как выращивают стержни монокристаллического кремния в монокристаллической печи?
Сначала поместите сырье из поликремния высокой чистоты в кварцевый тигель высокой чистоты и расплавьте его при высокой температуре, создаваемой графитовым нагревателем; затем слегка охладите расплавленный жидкий кремний, чтобы получить определенную степень переохлаждения, и используйте другой. Монокристалл кремния (называемый затравочным кристаллом), закрепленный на валу затравочного кристалла, вставляется в поверхность расплава. После того, как затравочный кристалл расплавится, медленно потяните затравочный кристалл вверх, и кристалл вырастет на нижнем конце затравочного кристалла; затем управляйте затравочным кристаллом. Выращена печь для выращивания монокристаллического кремния длиной 100 м.
наконец, когда большая часть раствора кремния кристаллизована, кристалл постепенно уменьшается до образования конуса в форме хвоста, что называется финишным процессом; Таким образом, процесс вытяжки монокристалла в основном завершен. Его можно вынимать после определенного сохранения тепла и охлаждения. Метод Чохральского еще называют методом Я.Чохральского. Этот метод представляет собой метод выращивания кристаллов, разработанный Чеклауши еще в 1917 году. Оборудование и процесс выращивания монокристаллов методом Чохральского относительно просты, легко реализуемо автоматическое управление, имеют высокую эффективность производства и позволяют легко получать монокристаллы большого диаметра. Концентрацию примесей в монокристалле легко контролировать и можно получить монокристалл с низким удельным сопротивлением. По статистике, от 70% до 80% мирового производства монокристаллов кремния производится методом Чохральского.
www.superbheater.com
