Степень вакуума вакуумной машины для нанесения покрытий напрямую влияет на эффект покрытия.

Степень вакуума вакуумной машины для нанесения покрытий напрямую влияет на эффект покрытия.

Метод обнаружения утечек оборудования для вакуумного нанесения покрытий Производители машин для нанесения вакуумных покрытий вводят проверку утечки воздуха - это мера проверки для обеспечения степени вакуума оборудования для вакуумного покрытия, называемая обнаружением утечек, степень вакуума непосредственно влияет на эффект покрытия, поэтому обнаружение утечек существенный Меньше.

Как правило, утечка воздуха в вакуумной камере происходит из-за небольших отверстий в стенке камеры или прорезей в месте соединения перед компонентами. Когда система удаления воздуха откачивается, давление в вакуумной камере снижается, а разница давлений снаружи и внутри заставляет газ выходить из-под высокого давления. Снаружи течет в вакуумную камеру с низким давлением, в результате чего степень вакуума падает.

Электронный луч вакуумной установки для нанесения покрытий может попасть на край тигля.

В случае ненормального вакуумного оборудования для нанесения покрытия, когда ток луча увеличивается, электронный луч может ударить по краю тигля, потому что положение пятна луча не в центре, или положение пятна луча находится в центре , но проникает испаряемый материал и т. д., не будет признаков высокого давления. Это связано с тем, что выход высокого напряжения приблизительно замкнут накоротко, в результате чего ток электронного пучка превышает заданное значение, а трубка главного переключателя находится в отключенном состоянии, неся все высокое напряжение, так что высокое - напряжение не имеет выхода. Из-за чрезмерного тока луча, вызванного зажиганием, сигнал перегрузки по току, полученный в цепи обнаружения тока R21, приводит к выходу из строя трубки регулятора D13 и проводимости, BG14, BG15 и BG16 находятся в проводящем состоянии, а C13 разряжается через BG14 и R51. . Скоро отключите BG11, BG12, BG13, выход BG11 — 0V. БГ10 на схему переключения напряжения затвора получает входной сигнал 0В и выключается, БГ9 включается сразу, плюсовая клемма 550В подключается к катоду трубки главного выключателя через БГ9, а минусовая клемма подключен к затвору трубки главного выключателя через трубку D5. Получите смещение -550В и введите отсечку по глубине, в это время признаков высокого напряжения нет.

www.superbheater.com