Вакуумная лакировальная машина использует высокочастотный источник питания, а в контур добавлен мощный конденсатор.
Оставить сообщение
Вакуумная лакировальная машина использует высокочастотный источник питания, а в контур добавлен мощный конденсатор.
Для решения этой проблемы было изобретено магнетронное реактивное распыление. То есть с использованием металлической мишени с добавлением аргона и реактивного газа, такого как азот или кислород. Когда металлическая мишень попадает на деталь, она соединяется с химически активным газом с образованием нитридов или оксидов благодаря преобразованию энергии.
Легко распылять металлы и сплавы с магнетронными мишенями, а воспламенение и распыление удобны. Это связано с тем, что мишень (катод), плазма и вакуумная камера распыляемой детали могут образовывать цепь. Но если напылить изоляторы типа керамики, цепь разорвется. Поэтому люди используют высокочастотный источник питания и добавляют в контур мощный конденсатор. Таким образом, целевой материал становится конденсатором в изолирующей цепи.
Чтобы увеличить коэффициент использования целевого материала, машина для вакуумного нанесения покрытий может использовать вращающееся магнитное поле.
Взаимодействие между магнитным полем и электронами используется для того, чтобы заставить электроны двигаться по спирали вблизи поверхности мишени, тем самым увеличивая вероятность попадания электронов в газообразный аргон с образованием ионов. Генерируемые ионы ударяются о поверхность мишени под действием электрического поля, распыляя мишень. В последние десятилетия постепенно стали внедряться постоянные магниты, а витые магниты используются редко. Независимо от баланса или дисбаланса, если магнит неподвижен, характеристики его магнитного поля определяют, что общий целевой коэффициент использования составляет менее 30 процентов. Для увеличения коэффициента использования целевого материала можно использовать вращающееся магнитное поле. Но для вращения магнитного поля требуется вращающийся механизм, и в то же время скорость распыления снижается.
www.superbheater.com
