Температура поверхности вакуумно-формовочной машины для нанесения электронно-лучевого покрытия пропорциональна интенсивности электронного луча.

Температура поверхности вакуумно-формовочной машины для нанесения электронно-лучевого покрытия пропорциональна интенсивности электронного луча.

Температура поверхности пленок и обрабатываемых деталей пропорциональна интенсивности электронного луча. Интенсивность электронного луча можно контролировать, контролируя поток тока на нить, тем самым контролируя температуру поверхности тонкопленочного материала и обрабатываемых деталей.

Вакуумно-формовочная машина для нанесения электронно-лучевого покрытия сначала должна предварительно нагревать нить.

Когда работает электронно-лучевая установка для нанесения покрытий, нить накала необходимо предварительно нагреть. Ток предварительного нагрева нити составляет 60-90А, а время предварительного нагрева составляет более 20 минут. После нагревания нити потенциальная энергия электронов в нити (катоде) увеличивается, готовясь к эмиссии электронов. В это время при включении напряжения 20 кВ/11~ (2) нить накала (катод) под действием электрического поля начинает испускать электроны. Под совместным действием системы фокусировки, отклоняющей катушки и ускоряющего напряжения электроны, испускаемые нитью накала (катодом), собираются в пучок и испускаются на пленочный материал или обрабатываемую деталь с очень высокой скоростью.

Мероприятия по улучшению пленочного слоя оборудования для вакуумной гальваники:

(1) Выпекать после покрытия. После нанесения последнего слоя пленки не прекращайте выпечку сразу, а продолжайте «темперировать» в течение 10 минут. Сделайте структуру пленки более стабильной.

(1) Время охлаждения соответствующим образом увеличивается, и проводится старение отжигом. Уменьшить тепловое напряжение, вызванное чрезмерной разницей температур внутри и снаружи вакуумной камеры.

(2) В процессе испарения пленки с высоким коэффициентом отражения и фильтрующей пленки температура подложки не должна быть слишком высокой, а высокая температура легко вызывает термическое напряжение. И это отрицательно влияет на оптическую стабильность оксида титана, оксида тантала и других пленочных материалов.

(iii) Процесс нанесения покрытия с помощью ионов для снижения стресса.

(iv) Выберите подходящую пленочную систему для соответствия между первым слоем пленочного материала и подложкой. (Например, пятислойная антибликовая пленка использует Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2; ZrO2 также может использовать SV -5 (смешанный пленочный материал ZrO2 TiO2) или другой смешанный пленочный материал с высоким показателем преломления.

(V) Надлежащим образом снизить скорость испарения (эталонная скорость Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S).

(vi) Все материалы оксидной пленки наполнены кислородом и покрыты реактивным покрытием, а количество поглощаемого кислорода регулируется в соответствии с различными пленочными материалами.

www.superbheater.com