Основные аспекты монокристаллической печи, которые необходимо контролировать
Оставить сообщение
Основные аспекты монокристаллической печи, которые необходимо контролировать
1. Диаметр кристалла (размер)
2. Температура (контроль мощности)
3. Сырье (кремниевый материал)
4. Скорость утечки, качество аргона и т. д.
Материал монокристаллической печи:
После завершения изготовления материала проверьте, есть ли на внутренней стенке тигля нерасплавленный кремниевый материал. Если имеется нерасплавленный кремниевый материал, столкновение с нерасплавленным кремнием при падении теплозащитного экрана вызовет колебания уровня жидкости в тигле и повлияет на рост кремниевых стержней.
Неоднократно проветривайте газом Ar и откачивайте этот процесс, чтобы удалить кислород из корпуса печи и избежать остаточного кислорода.
Влияет на содержание кислорода в стержнях монокристаллического кремния.
Процесс монокристаллической печи Чохральского:
Загрузка→Вакуум→Плавка→Затравочный кристалл и плавление расплавленного кремния→Затравочный кристалл→Настройка плеча→Вращение плеча→Равный диаметр→Окончание
Система управления приводом монокристаллической печи:
Система передачи включает подъем кристалла, поворот кристалла, подъем панорамы, поворот панорамы, обычно использует двигатель тахометра и электрический привод.
Метод коаксиальной машины: выньте напряжение сигнала изменения скорости и напряжение сигнала скорости с помощью
Постоянное напряжение относительно толстое, а напряжение привода приводного двигателя контролируется зоной усиления для достижения стабильного напряжения.
Цель фиксированной скорости.
Система контроля температуры монокристаллической печи:
Используйте комбинацию обратной связи по мощности и обратной связи по температуре для управления температурой.
Система теплового поля монокристаллической печи:
Система теплового поля включает в себя графитовый нагреватель, графитовый тигель, изоляционную крышку из графитово-углеродного фетра, графитовую изоляционную крышку и графитовый электрод.
Газовая система монокристаллической печи:
Поступающий газ Ar не только действует как теплоноситель, но также забирает улетученные SiO и CO в корпусе печи.
В ожидании газа
Вакуумная система монокристаллической печи:
После подачи аргона в корпус печи используйте вакуумный насос для вакуумирования и повторите этот процесс, чтобы слить кислород из корпуса печи.
Избегайте влияния остаточного кислорода на содержание кислорода в монокристаллическом кремниевом стержне.
www.superbheater.com
