Окисление поверхности стержней из карбида кремния, используемых для создания тонких пленок из диоксида кремния

Во время использования поверхность стержня из карбида кремния окисляется с образованием пленки диоксида кремния. Длительное использование увеличивает пленку диоксида кремния и значение сопротивления стержня из карбида кремния. Пленка кремнезема подвергается аномальному расширению и сжатию вблизи критической точки кристаллизации (270 градусов). Из-за постоянных колебаний температуры во время периодического использования печи пленка диоксида кремния многократно разрывается для ускорения окисления. Поэтому, когда температура печи отключения электроэнергии падает до комнатной, сопротивление часто резко возрастает. Если значения сопротивления стержней из карбида кремния различны, нагрузка стержней из карбида кремния с высоким сопротивлением более сконцентрирована при последовательном соединении, что может легко привести к быстрому увеличению сопротивления определенного стержня из карбида кремния и сокращению срока службы. Стержни из карбида кремния обычно используются в сочетании с последовательной и параллельной проводкой. Рекомендуется использовать два последовательных соединения как группу, а затем несколько параллельных соединений. Особенно когда температура внутри печи превышает 1350 градусов, она должна быть подключена параллельно. Для трехфазной проводки рекомендуется использовать открытый треугольник.