Подготовка монокристаллической печи

Подготовка монокристаллической печи

в. Откройте масляное отверстие вакуумного насоса, залейте масло вакуумного насоса в масляное отверстие вакуумного насоса, наблюдайте за уровнем масла вакуумного насоса до положения 1/2 смотрового окна уровня масла, прекратите смазку, откройте маслопровод. клапан на стороне насоса, чтобы слить масло в нижнюю полость, и закройте масляное отверстие.

д. После запуска вакуумного насоса на 5 минут закройте кран маслопровода со стороны насоса, проверьте, находится ли уровень масла на уровне 1/3----1/2 окошка наблюдения за уровнем масла, выключите вакуумный насос. и извлеките его из монокристаллической печи с разгрузкой масла для обслуживания марки. Если оно ниже нижнего предела, повторите операции c и d.

а. При входе в цех монокристаллов надевайте чистую рабочую одежду и обувь.

б. Перед запуском печи проверьте воду, электричество и газ в соответствии с технологическими требованиями и запустите печь, убедившись, что все в порядке.

в. Подготовьте одноразовые чистые перчатки, термостойкие перчатки, полотенца, бумажные полотенца, абразивные ткани, спирт, вакуумные щетки, вакуумные трубки и пылезащитные маски.

д. Подготовьте плоскогубцы, гаечные ключи и различные специальные инструменты для сборки и демонтажа печи.

е. Возьмите подставку из монокристалла, тележку из нержавеющей стали с графитовыми деталями, цилиндр из нержавеющей стали с материалом дна кастрюли и тележку из нержавеющей стали с силиконовым материалом и утилизируйте их в чистом виде.

ф. Используйте полотенце, чтобы переместить корпус печи сверху вниз. При чистке будьте осторожны, чтобы не сломать и не повредить всю проводку управления и переключатели, а также очистите пространство вокруг печи.

Процесс работы монокристаллической печи

Подготовка работы → обнаружение горячих утечек → взятие монокристалла и затравочного кристалла → извлечение графитовых деталей и охлаждение → очистка вакуумного фильтра → проверка и замена масла вакуумного насоса → очистка графитовых деталей → очистка камеры печи монокристалла → установка графитовых деталей → установка кварцевого тигля → Установка кремниевого материала → Установка затравочного кристалла → Вакуумирование, обнаружение утечек → Заполнение аргоном, увеличение мощности, плавление → затравка, образование шейки, установка уступа, поворот уступа → рост равного диаметра → чистовая обработка → снижение мощности, охлаждение при выключении

www.superbheater.com