Загрузка и затравка монокристаллической печи:
Оставить сообщение
Загрузка и затравка монокристаллической печи:
После окончания предварительного нагрева материал плавится, и напряжение переключается на напряжение при плавлении материала. Уставка генератора равна 40-60%; после плавления поликристаллического материала затравочный кристалл и расплавленный кремний свариваются, а после сварки форма зоны плавления изменяется. , Посев; (4) Выращивание шеек: после посева вырастают шейки, диаметр шеек составляет 2-6 мм, а длина - 30-60 мм;
Расширение плеча монокристаллической печи и заполнение азотом:
После роста шеи разверните плечи, медленно уменьшите нижнюю скорость до 3±2 мм/мин, одновременно с увеличением диаметра расширенных плеч продолжайте уменьшаться и снижайте до 8±4 об/мин и медленно уменьшайте. и поверните до 1± 0,5 об/мин; Чтобы предотвратить ионизацию под высоким давлением, определенная часть азота заполняется в защитной атмосфере аргона, а соотношение смешивания азота составляет 0,01% к 5% от содержания аргона;
Загрузка и затравка монокристаллической печи:
После окончания предварительного нагрева материал плавится, и напряжение переключается на напряжение при плавлении материала. Уставка генератора равна 40-60%; после плавления поликристаллического материала затравочный кристалл и расплавленный кремний свариваются, а после сварки форма зоны плавления изменяется. , Посев; (4) Выращивание шеек: после посева вырастают шейки, диаметр шеек составляет 2-6 мм, а длина - 30-60 мм;
Очистка и загрузка печи монокристалла:
Очистите внутреннюю стенку всей печи и нагревательную спираль, отражатель, держатель кристалла, верхний и нижний вал, отрегулируйте уровень нагревательной катушки и отражателя и совмещение с верхним и нижним валом; закрепите приспособление для поликристаллического материала в выемке на конце кристаллического материала, затем установите его на конец верхнего стержня, чтобы выровнять поликристаллический материал; загрузите затравочный кристалл в патрон для затравочных кристаллов, а затем установите его на верхнюю часть нижнего вала; закрыть каждую дверцу печи, затянуть болты крепления;
www.superbheater.com
