Причины неравномерного цвета отдельной пленки на вакуумном гальваническом оборудовании:
Оставить сообщение
Причины неравномерного цвета отдельной пленки на вакуумном гальваническом оборудовании:
В основном это связано с серьезной неровностью подложки, большой разницей в кривизне зонтичной пластины и большой разницей между углом испарения, образованным верхней или нижней нормалью подложки и источником испарения. В результате условия получения пленочного материала на каждой части линзы сильно различаются, и получаемая толщина пленки сильно различается.
Кроме того, объектив заблокирован краем зеркального кольца (диска), зеркальное кольцо (диск) загрязнено и загрязняет линзу во время испарения и т. д., что также вызывает проблему разницы в цвете пленки.
Идеи по улучшению: Улучшите угол испарения края линзы.
Корректирующая пластина вакуумного гальванического оборудования очень полезна для коррекции физической толщины пленки.
▲ Корректирующая пластина очень эффективна для коррекции физической толщины пленки, но коррекции показателя преломления недостаточно, поэтому очень сложно полностью полагаться на корректирующую пластину для решения проблемы спектральной однородности.
▲ Если корректирующая пластина должна соответствовать двум электронным пушкам (источникам испарения) и различным пленочным материалам, возникнут большие трудности.
Мероприятия по улучшению цвета пленки вакуумного гальванического оборудования:
(1) Отрегулируйте корректирующую пластину, постарайтесь учесть балансовую совместимость пленочных материалов с высоким и низким показателем преломления. Если есть два источника испарения, по возможности используйте свои собственные корректирующие пластины независимо, чтобы избежать помех.
(ii) Если позволяют условия, используются планетарные приспособления.
(iii) Формирование детали зонтика. Для формирования детали зонтика вы можете сначала обработать базовую форму R (выбрать сырье с более высокой прочностью), а затем изменить форму детали зонтика на базовой форме. Чтобы предотвратить деформацию частей зонта, при заказе частей зонта толщина частей зонта и выбор сырья должны быть соответствующими.
(iv) Улучшить управление частями зонта, особенно при их размещении, чтобы предотвратить их деформацию из-за неправильного размещения.
(v) Улучшите состояние мембранного материала, особенно когда сублимационные и полусублимационные материалы осаждения из паровой пушки электронной пушкой не разрушают мембранный материал и не копают ямы.
(vi) Пленочный материал, который может быть автоматически предварительно расплавлен, должен быть автоматически предварительно расплавлен, насколько это возможно, чтобы уменьшить влияние человеческого фактора.
www.superbheater.com
