Электротермическое покрытие труб Магнетронное напыление
Оставить сообщение
Электротермическое покрытие труб Магнетронное напыление
Магнетронное распыление — это новый тип технологии распыления, быстро развивавшийся в 1970-х годах. Он характеризуется созданием кольцевой магнитной мишени на поверхности катодной мишени для управления движением вторичных электронов. Под действием электромагнитного поля вторичные электроны, образующиеся при ионной бомбардировке поверхности мишени, сжимаются вблизи поверхности мишени для циклотронного движения, увеличивая расстояние до анода, значительно повышая вероятность столкновения с атомами газа и тем самым повышая скорость распыления. . В настоящее время магнетронное напыление применяется в промышленном производстве. Это связано с тем, что скорость нанесения покрытия при магнетронном напылении на порядок выше, чем при биполярном напылении, и оно имеет такие преимущества, как высокая скорость осаждения, низкое повышение температуры подложки и незначительное повреждение пленки. В 1974 году Чапин изобрел плоскую мишень для магнетронного распыления, пригодную для промышленного применения, что способствовало выходу на рынок.
реактивное напыление
В способе напыления, если мишень превращается в соединение для получения составной пленки, состав полученной пленки обычно значительно отличается от состава целевого соединения. В этот момент активное смешивание активного газа с разрядным газом может контролировать состав и свойства полученной тонкой пленки, что называется методом реактивного распыления. Он в основном используется для производства изолирующих компаундных пленок и может быть достигнут с использованием двух методов напыления: биполярного постоянного тока и ВЧ. Его фактическое устройство мало чем отличается от биполярного распыления и ВЧ-распыления, за исключением установки двух портов для впуска газа и нагрева подложки до 500°С с целью смешивания газов. Распыление является самым простым методом контроля состава сплава в технологии физического осаждения из паровой фазы. Пленка сплава может быть нанесена совместным распылением с несколькими мишенями, и пока параметры распыления каждой мишени контролируются, можно получить пленку сплава определенного состава. Пленка сплава также может быть непосредственно распылена с использованием мишени из сплава без каких-либо мер контроля, и может быть получена пленка сплава с точно таким же составом, что и материал мишени. Несмотря на то, что различные компоненты сплава имеют значительно разные коэффициенты распыления, в процессе распыления, через некоторое время, компонент с наибольшей скоростью распыления отдает предпочтение распылению, и поверхность целевого материала будет обогащаться другими компонентами до стабильного состояния. достигается состав поверхности. Окончательный состав полученной пленки будет таким же, как у целевого материала.
www.superbheater.com
